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  •     分析型探针台  太阳能电池测试探针台  一、基本配置信息： 1.探针台本体： * Analysis 6" Probe Station(分析型6"探针台)(可选8”、12”) * 6" vacuum chuck（6"真空卡盘）)(可选8”、12”) * Ball screw drived chuck stage （滚珠丝杆精密调节平台） * Chuck stage tr*el X,Y 150mm （卡盘平台X，Y行程150mm） 根据需求行程可选200mm(APS 200型)或其它 * Manual chuck theta adjustment （手动卡盘旋转调整）精度：+/-0.1度（旋转） * Chuck up-down 5mm (卡盘升降5mm行程) 升降台调节精度：15度，；4mm，+/-1um（垂直） * Microscope stage tr*el X,Y 25mm（显微镜载物台X，Y行程25毫米）。

    调节精度：+/-1um   2.探针座：DC Probe Head 探针座(可选其它精度探针座及RF高频探针座) * Foot dimension(底部尺寸)          70 x 35mm * Tr*el range(X,Y轴行程范围)       12mm * Tr*el range(Z轴行程范围)         12mm * Feature Resolution(精度)           1um * Vacuum base(磁吸附) 注：磁吸附系配置*设计开关磁吸装置；可选择真空吸附； 仰角*置，可对夹持的探针进行仰角角度的调节；   3. 显微镜：Microscope System for High Magnification  高倍率显微镜系统 * Magnification up to 500X（放大倍率500X） 注：可选更高倍率镜头，如：100X物镜，即总倍率1000X 标签：     深圳市太阳能电池   深圳市太阳能电池厂家
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